美國(guó)ALICAT 流量控制器  MC-50SCCM 質(zhì)量流量控制器

MCR–氣體質(zhì)量流量控制器

響應(yīng)氣流控制，可抑制壓力波動(dòng)

出色的MFC只需要做好一件事：將流速保持在設(shè)定點(diǎn)即可。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器即使在壓力峰值的情況下也能迅速達(dá)到新的設(shè)定值并保持在該位置。我們將使用您的應(yīng)用程序參數(shù)來自定義閥門和PID調(diào)整，以確保其提供快速穩(wěn)定的控制。

應(yīng)用于：氣體混合 稀釋 標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器流量控制

燃燒控制，火焰溫度控制，氮化爐 多用爐內(nèi)氣控制 光伏制造，多晶硅爐氣體控制等

Alicat的MCR使用幾乎無摩擦的Rolamite閥門和各種孔板樣式，以高流量進(jìn)行控制，適用于  非腐蝕性氣體。

可用范圍：最大0-5000 slpm，最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm

兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預(yù)裝的可選氣體校準(zhǔn)；

最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

耐壓力：175 psig（190 psia）